喜訊！ 江蘇芯夢(mèng)入選2024年蘇錫常首臺(tái)（套）重大裝備認(rèn)定名單！
近日傳來(lái)喜訊，蘇州市工業(yè)和信息化局對(duì)2024年蘇錫常首臺(tái)（套）重大裝備擬認(rèn)定名單進(jìn)行公示，江蘇芯夢(mèng)半導(dǎo)體設(shè)備有限公司的全自動(dòng)晶圓盒清洗機(jī)FC-A300設(shè)備成功入圍！
江蘇芯夢(mèng)半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
榜上有名，成功入選
2024年蘇錫常首臺(tái)（套）重大裝備
擬認(rèn)定名單
憑借多年的潛心攻關(guān)，江蘇芯夢(mèng)成功研發(fā)并推出國(guó)內(nèi)首臺(tái)全自動(dòng)晶圓盒清洗機(jī)產(chǎn)品，并實(shí)現(xiàn)了量產(chǎn)。此次通過(guò)“蘇錫?！笔着_(tái)（套）重大裝備認(rèn)定，是對(duì)江蘇芯夢(mèng)在半導(dǎo)體高端濕法制程裝備領(lǐng)域，特別是全自動(dòng)晶圓盒清洗領(lǐng)域，長(zhǎng)期以來(lái)堅(jiān)持技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)業(yè)化的肯定，我們將繼續(xù)深耕半導(dǎo)體先進(jìn)制程濕法工藝裝備，不斷開(kāi)拓創(chuàng)新，在微納領(lǐng)域用先進(jìn)技術(shù)護(hù)家強(qiáng)國(guó)。
設(shè)備介紹
晶圓盒作為半導(dǎo)體制造中存儲(chǔ)和運(yùn)輸晶圓的重要載體，其潔凈度直接影響晶圓在先進(jìn)制程中的良率。如果晶圓盒表面殘留顆粒、分子污染物或金屬離子等微污染物，這些污染物可能會(huì)轉(zhuǎn)移到晶圓表面，導(dǎo)致晶圓缺陷，甚至引發(fā)工藝失效。因此，晶圓盒的高精度清洗對(duì)于保障晶圓品質(zhì)、提高產(chǎn)線(xiàn)良率至關(guān)重要。
本次獲批的全自動(dòng)晶圓盒清洗機(jī)是一款專(zhuān)為半導(dǎo)體先進(jìn)制程設(shè)計(jì)的高精度清洗設(shè)備，集成了清洗模塊、真空干燥模塊、前端裝載模塊以及全自動(dòng)機(jī)械手等核心功能模塊。設(shè)備通過(guò)精密的清洗工藝，能夠高效去除晶圓盒表面的微納顆粒、AMC（氣態(tài)分子污染物）以及金屬離子等污染物，顯著提升晶圓盒的潔凈度，可以滿(mǎn)足半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)污染控制的極高要求。
憑借卓越的清洗性能和穩(wěn)定的工藝控制，江蘇芯夢(mèng)的全自動(dòng)晶圓盒清洗機(jī)產(chǎn)品，已廣泛應(yīng)用于國(guó)內(nèi)頭部的半導(dǎo)體襯底和集成電路制造企業(yè)。這一成果不僅填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)高端晶圓盒清洗設(shè)備的技術(shù)空白，也為推動(dòng)我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的高質(zhì)量發(fā)展提供了堅(jiān)實(shí)保障。
關(guān)于江蘇芯夢(mèng)半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
江蘇芯夢(mèng)致力于提供集成電路制造、先進(jìn)封裝及襯底制造領(lǐng)域高端濕法制程工藝裝備綜合解決方案，主要產(chǎn)品包括全自動(dòng)晶圓級(jí)ENEPIG化學(xué)鍍?cè)O(shè)備、全自動(dòng)單片清洗設(shè)備、全自動(dòng)FOUP清洗設(shè)備、高深寬比TSV微盲孔填充設(shè)備等。公司成立5年來(lái)快速發(fā)展，獲得60余項(xiàng)專(zhuān)利權(quán)，芯夢(mèng)先后獲得了國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)、國(guó)家專(zhuān)精特新小巨人企業(yè)、江蘇省雙創(chuàng)人才企業(yè)、江蘇省企業(yè)工程技術(shù)研究中心、江蘇省專(zhuān)精特新中小企業(yè)、江蘇潛在獨(dú)角獸企業(yè)、蘇錫常首臺(tái)套重大裝備、蘇州市瞪羚計(jì)劃入庫(kù)企業(yè)等多項(xiàng)榮譽(yù)資質(zhì)。
