江蘇芯夢(mèng)研發(fā)交付國(guó)內(nèi)首臺(tái)全自動(dòng)精拋立式清洗機(jī)工藝水準(zhǔn)達(dá)到19nm
近日，江蘇芯夢(mèng)半導(dǎo)體再次邁出創(chuàng)新步伐，宣布成功研發(fā)并交付國(guó)內(nèi)首臺(tái)全自動(dòng)精拋立式清洗機(jī)。
該設(shè)備結(jié)合了槽式Dip和單片Spray的優(yōu)點(diǎn)，能夠高效去除CMP（化學(xué)機(jī)械拋光）后表面顆粒污染物，工藝水準(zhǔn)達(dá)到了驚人的19納米。
據(jù)悉，全自動(dòng)精拋立式清洗機(jī)的研發(fā)，是江蘇芯夢(mèng)在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域取得的又一重要突破。該設(shè)備采用了先進(jìn)的清洗技術(shù)，通過精妙的機(jī)械設(shè)計(jì)和自動(dòng)化控制系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了對(duì)CMP后表面顆粒污染物的有效去除。此外，該設(shè)備大幅提高了CMP后清洗的產(chǎn)能，據(jù)了解單臺(tái)全自動(dòng)精拋立式清洗機(jī)即可匹配4臺(tái)CMP機(jī)臺(tái)的產(chǎn)能，不僅大幅提高了CMP工藝環(huán)節(jié)整體的生產(chǎn)效率，而且顯著提升了CMP工藝環(huán)節(jié)的質(zhì)量和穩(wěn)定性。
全自動(dòng)精拋立式清洗機(jī)介紹
與傳統(tǒng)的清洗方式相比，全自動(dòng)精拋立式清洗機(jī)具有更高的清洗精度和更低的能耗。其獨(dú)特的設(shè)計(jì)使得清洗過程更加均勻、高效，同時(shí)減少了人工操作的干預(yù)，降低了生產(chǎn)過程中的不確定性和誤差。設(shè)備能夠?qū)崿F(xiàn)以下工藝：
浸沒上料：維持晶圓表面濕潤(rùn)狀態(tài)，避免晶圓表面研磨液干燥后造成清洗困難；
雙面刷洗：去除晶圓表面金屬沾污及表面損傷；
SC1清洗：利用兆聲波和SC1去除顆粒及深層缺陷；
DIW沖洗：去除SC1后回沾到晶圓表面的顆粒
馬蘭戈尼干燥：確保晶圓表面無污染物和水痕
業(yè)內(nèi)專家表示，江蘇芯夢(mèng)此次推出的全自動(dòng)精拋立式清洗機(jī)，不僅在國(guó)內(nèi)處于領(lǐng)先地位，與國(guó)際同類產(chǎn)品相比也具有一定的競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)。該設(shè)備的成功研發(fā)，不僅提升了我國(guó)半導(dǎo)體制造設(shè)備的水平，也為我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展注入了新的動(dòng)力。