江蘇芯夢半導(dǎo)體設(shè)備有限公司

  • 地址：江蘇省蘇州市吳中經(jīng)濟開發(fā)區(qū)東吳南路25號城南科技產(chǎn)業(yè)園7幢（2號廠房）

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圓盒清洗&檢測解決方案

全自動晶圓盒清洗機

Xtrim-FC-A300

設(shè)備概述

Loadport*3 Clean Chamber*3 Vacuum Chamber*3 Robot

設(shè)備亮點

全流程自動化

  • 自動開蓋合蓋、晶圓檢測、清洗、干燥、抽真空、除濕全自動作業(yè)，可與天車系統(tǒng)無縫對接。

兼容性強

  • 無需任何硬件修改即可兼容多種類型的FOUP/FOSB。

工藝性能優(yōu)異

  • Particle、AMC（含VOC）、Outgassing控制。

  • N2 Purge 控制FOUP內(nèi)部濕度。

產(chǎn)能高

  • 每小時可清洗25至30個產(chǎn)品

SEMI S2 F47認(rèn)證