ENEPIG（鎳鈀金）化學(xué)鍍?cè)O(shè)備
Xtrim-ENEPIG-300/200/150
設(shè)備概述
Load/Unload、Pretreatment Unit、Ni/Pd/Au Dual Tank Unit、IPA Dryer/Marangoni Dryer、Auto CDS&PM Unit、Online Analyzer
設(shè)備亮點(diǎn)
定制化
多元化工藝匹配，支持超20種化學(xué)藥水的應(yīng)用。
直線型/L 型布局可選。
Turn-Key
與ATO Tech/NOVA深度合作，提供“設(shè)備+藥水+分析”全流程解決方案。
均勻性佳
自主研發(fā)立體式拋動(dòng)+獨(dú)特的均流管設(shè)計(jì)，鍍層均勻性≤5%。
高產(chǎn)能
支持雙CST設(shè)計(jì)，產(chǎn)能最大化。
多套機(jī)械協(xié)同作業(yè)，產(chǎn)品無等待。
雙鎳鈀金槽，PM時(shí)無產(chǎn)能損失。
全自動(dòng)
支持OHT/AGV對(duì)接，全自動(dòng)上下料。
全自動(dòng)配液，全自動(dòng)PM。
全自動(dòng)分析及藥水添加。
行業(yè)認(rèn)證
SEMI S2
CE