江蘇芯夢半導(dǎo)體設(shè)備有限公司

  • 地址：江蘇省蘇州市吳中經(jīng)濟開發(fā)區(qū)東吳南路25號城南科技產(chǎn)業(yè)園7幢（2號廠房）

  • 電話：0512-67296032

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  • 企業(yè)郵箱：sales@js-xm.com.cn

合作熱線

  • 戰(zhàn)略合作：fuxing.wang@js-xm.com.cn

  • 技術(shù)交流：louis.shao@js-xm.com.cn

  • 供應(yīng)鏈合作：sunshine@js-xm.com.cn

單片清洗設(shè)備

全自動去膠設(shè)備

Xtrim-SC-ST300

設(shè)備概述

Loadport*4、Multi Chambers、Robot、CDU、e-Flow

設(shè)備亮點

功能完備

  • Nano-Spray、Mega-Sonic、加熱、N2鼓泡、常壓/高壓DIW等基本配置可選。

  • 可根據(jù)客戶需要搭配對應(yīng)的藥水，如NMP/NaOH/ IPA等。

定制化

  • 支持6&8&12 Inch Wafer。

  • 可根據(jù)客戶需求進行定制化搭配。

節(jié)約藥液

  • 配置專業(yè)藥液循環(huán)利用、自動補液、藥液控溫及排風、排廢系統(tǒng)；

  • 支持by片數(shù)/時間切換recipe，充分延長藥水使用壽命。

污染控制

  • 專業(yè)材質(zhì)選用：實現(xiàn)對Particle的高效管控；

  • 封閉式的晶圓加工環(huán)境，有效防止化學(xué)液霧化及微粒污染。