江蘇芯夢(mèng)半導(dǎo)體設(shè)備有限公司

  • 地址：江蘇省蘇州市吳中經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)東吳南路25號(hào)城南科技產(chǎn)業(yè)園7幢（2號(hào)廠房）

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合作熱線

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槽式清洗設(shè)備

全自動(dòng)槽式濕法設(shè)備-Cassette Less

Xtrim-BC-L200

設(shè)備概述

Load/Unload、Chemical Baths(SPM、HF、SC1、SC2、BOE、H3PO4......),QDR、MarangoniDryer , Robot、Transfer......Support Tool: CDS /LCDS

設(shè)備亮點(diǎn)

定制化設(shè)計(jì)

  • 定制化設(shè)計(jì)：支持6、8SMIF

  • 適配各類藥水

  • 工藝槽體可根據(jù)需求定制

產(chǎn)能高

  • 支持25片/50片量產(chǎn)

  • 按工藝段多套R(shí)obot協(xié)同作業(yè)

精準(zhǔn)控制

  • 精密溫控系統(tǒng)

  • 動(dòng)態(tài)計(jì)量添加

  • 多點(diǎn)式兆聲波

環(huán)保與可持續(xù)性

  • 藥液過(guò)濾循環(huán)利用

  • 分路排液回收

  • 耐腐材料選擇，減少老化

智能化的救貨系統(tǒng)

  • 過(guò)浸泡救貨功能

  • 異常斷電救貨功能