江蘇芯夢(mèng)半導(dǎo)體設(shè)備有限公司

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槽式清洗設(shè)備

全自動(dòng)臥式爐管清洗機(jī)

Xplaim-ST-HTC

設(shè)備概述

主要應(yīng)用于氧化、擴(kuò)散、剝膜生長(zhǎng)、退火、外延等等工藝的爐管清洗

設(shè)備亮點(diǎn)

適用性腔

  • 適用于6”到12”爐管，也適用于清洗其他小型部件

清洗均勻性好

  • 滾動(dòng)浸泡清洗均勻性好


自動(dòng)化強(qiáng)

  • 帶機(jī)械手臂自動(dòng)在各槽之間轉(zhuǎn)運(yùn)清洗。


定制化

  • 可根據(jù)客戶(hù)要求定制化設(shè)計(jì)（槽體數(shù)量、藥液供液功能定制、藥液回收Tank等）