江蘇芯夢半導(dǎo)體設(shè)備有限公司

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合作熱線

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  • 技術(shù)交流：louis.shao@js-xm.com.cn

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槽式清洗設(shè)備

全自動槽式濕法設(shè)備-Cassette Less

Xtrim-BC-L300

設(shè)備概述

EFEM、Chemical Baths(SPM、HF、SC1、SC2、BOE、H3PO4……）、QDR、Marangoni Dryer ， Robot、Transfer……Support Tool: CDS /LCDS

設(shè)備亮點

定制化

  • 12”FOUP LP

  • 適配各類藥水

  • 工藝槽體可根據(jù)需求定制

精準控制

  • 專業(yè)流場、溫控設(shè)計

  • 精準配液；依工藝選擇流量計/計量泵/計量桶/濃度計

  • 精確補液：by片數(shù)/時間/濃度

高端配置

  • 配置加熱、循環(huán)、兆聲清洗及濃度在線監(jiān)控等技術(shù)，增強晶圓清洗效果；

  • 配置Marangoni Dryer確保晶圓干燥，安全生產(chǎn)；

  • 破片偵測

Particle 管控優(yōu)異

  • CST-Less方式；

  • 專業(yè)的材質(zhì)選用；

  • 氣體流暢管控系統(tǒng)

  • 先進的干燥系統(tǒng)

智能化的救貨系統(tǒng)

  • 過浸泡救貨系統(tǒng)

  • 異常斷電救貨功能